发布日期：2025-01-25 京仪装备获得实用新型专利授权：“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”，专利申请号为CN202323548526.7，授权日为2025年1月10日。 专利摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，提供一种吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置。吸盘旋转组件包括吸盘组件和驱动部，吸盘组件适于吸附晶圆；驱动部与吸盘组件固定连接，适于带动吸盘组件旋转；驱动部包括架体和驱动电机组件，架体设有第一通孔；驱动电机组件固定连接于架体，驱动电机组件设有输【更多...】